Китай создал «маленький литограф» для 14-нм чипов

Компания Huiran Microelectronics представила собственную локализованную версию CD-SEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscope). CD-SEM — это специализированный растровый электронный микроскоп, который делает замеры элементов на полупроводниковых пластинах во время литографии. Этот прибор еще называют «маленьким литографом», как пишет IT Home.